| 基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备 |
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| 引用本文： | 张少婧,徐宗伟,房丰洲,胡小唐.基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2010,43(5). |
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| 作者姓名： | 张少婧 徐宗伟 房丰洲 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测量技术与仪器国家重点实验室,天津市微纳制造技术工程中心,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目，国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，高等学校学科创新引智计划，中国博士后科学基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种利用聚焦离子束(FIB)技术的铣削功能制备微细切削刀具的方法,通过设置恰当的离子束参数及精确控制刀具的不同刀面相对离子束的位置,可以获得具有高精度特征尺寸、锋锐刃口且复杂形状的微刀具.被加工刀具的典型特征尺寸为5～50,μm,可加工各种不同截面形状的微刀具.对硬质合金材料的毛坯进行FIB铣削,获得了宽度为7.65,μm、刃口半径小于30,nm的矩形微刀具.通过在超精密车床上进行加工试验,结果表明,FIB铣削的微刀具具有很好的加工性能.
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| 关 键 词： | 聚焦离子束 微刀具 微加工 超精密加工 |
Fabrication of Micro Tool Using Focused Ion Beam Milling Technique |
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| ZHANG Shao-jing,XU Zong-wei,FANG Feng-zhou,HU Xiao-tang.Fabrication of Micro Tool Using Focused Ion Beam Milling Technique[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2010,43(5). |
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| Authors: | ZHANG Shao-jing XU Zong-wei FANG Feng-zhou HU Xiao-tang |
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