| 干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟 |
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| 引用本文： | 林秋宝.干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟[J].集美大学学报(自然科学版),2003,8(1):80-82. |
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| 作者姓名： | 林秋宝 |
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| 作者单位： | 集美大学基础教学部,福建,厦门,361021 |
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| 摘 要： | 光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法．对于多样性结果的唯一性分析，借助于计算机模拟，得到特征缺陷的干涉图样的模拟结果．该结果适用于不同波长，缺陷尺度连续变化的微小情况．使用误差跟踪计算办法，可分辨的缺陷尺度变化从1／2波长的10＾－1量级倍数到10＾2量级倍数．
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| 关 键 词： | 表面特征缺陷 缺陷测量 光学干涉方法 计算机模拟 干涉图样 缺陷尺度变化 |
| 文章编号： | 1007-7405(2003)01-0080-03 |
| 修稿时间： | 2002年12月18 |
The Computer Simulation of Testing Surface Defect by Optical Interference Method |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | interference defect computer simulation |
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