| 用PLD法在MgO（100）衬底十生长ZnO薄膜的结构和光学特性 |
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| 引用本文： | 苏凤莲,汪洪,李爱侠,刘艳关,周圣明.用PLD法在MgO（100）衬底十生长ZnO薄膜的结构和光学特性[J].安徽大学学报(自然科学版),2006,30(2):67-70. |
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| 作者姓名： | 苏凤莲 汪洪 李爱侠 刘艳关 周圣明 |
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| 作者单位： | [1]安徽大学物理与材料科学学院,安徽合肥230039 [2]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800 |
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| 基金项目： | 安徽省优秀青年基金资助项目（00047208）;高等学校安徽省学术技术带头人科研资助项日 |
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| 摘 要： | 用脉冲激光沉积法在MgO（100）衬底上沉积了ZnO薄膜．衬底温度分别为400℃、550℃和700℃．利用X射线衍射（XRD）和光致发光谱（PL）对薄膜的结构和光学性能进行研究．x射线衍射的结果表明，在400℃和550℃下生长的ZnO薄膜具有高度c一轴择优取向．仉足当衬底温度升高到700℃时，薄膜由单一的择优取向变为有两个较强的择优取向．通过光致发光谱可以发现，在550℃下生长的ZnO薄膜具有强的紫外发射和窄的FWHM，并且紫外发光峰的强度与ZnO薄膜的结晶质量密切相关．
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 脉冲激光沉积 x射线衍射 光致发光谱 |
| 文章编号： | 1000-2162（2006）02-0067-04 |
| 收稿时间： | 2005-03-13 |
| 修稿时间： | 2005-03-13 |
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