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超精密工件台的运动控制
引用本文:张尚盈,陈学东,赵慧,严天宏.超精密工件台的运动控制[J].华中科技大学学报(自然科学版),2008,36(10).
作者姓名:张尚盈  陈学东  赵慧  严天宏
作者单位:1. 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,湖北武汉,430074
2. 武汉科技大学机械自动化学院,湖北,武汉,430081
3. 上海微电子设备有限公司国家光刻设备工程技术研究中心,上海,201203
基金项目:国家自然科学基金,湖北省博士后科研项目,华中科技大学校科研和教改项目
摘    要:描述了一种应用于集成电路(IC)制造的超精密工件台的运动控制.介绍了超精密工件台主从控制原理,它结合了粗动台和精动台两者的优点以实现运动控制的大行程和高精度.给出了超精密工件台机电系统基于闭环控制的动力学辨识方法.利用环路整形技术,研究了串联PID控制器和鲁棒控制器的自动综合方法.仿真结果表明该超精密工件台的定位精度可达到10 nm.

关 键 词:超精密工件台  运动控制  主从控制  力解耦  精度

Motion control of supper-precision stage
Zhang Shangying,Chen Xuedong,Zhao Hui,Yan Tianhong.Motion control of supper-precision stage[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2008,36(10).
Authors:Zhang Shangying  Chen Xuedong  Zhao Hui  Yan Tianhong
Abstract:Motion control system of a supper-precision stage applied to IC(integrated circuit) production was presented.Master/slave control principle of the stage is that the merits of both coarse and fine stage are considered to obtain a desired motion control system having the capacity of large workspace with high resolution of motion.Identification method of mechatronics system such as ultra-precision stage is pictured based closed-loop control.The automated synthesis procedure of series PID(proportional,integral and derivative) controller and robust controller are studied using loop shaping techniques.Simulation results show that the positioning precision of the studied ultra-precision stage can achieve to 10 nm.
Keywords:supper-precision stage  motion control  master/slave control  force decoupling  precision
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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