红外电视显微镜在检测半导体材料及器件方面的应用

本文叙述了红外电视显微镜的结构、原理、特性及其在检测半导体材料和器件方面的应用,并着重介绍了检查集成电路和硅靶(硅光导摄象营的二极管阵列靶)的不规则扩散及针孔等内部缺陷的一些例子。