| SnO_2∶Sb∶Ni低温气敏薄膜的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 曹妩媚,刘祖黎,姚凯伦.SnO_2∶Sb∶Ni低温气敏薄膜的制备及性能研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),2001(9). |
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| 作者姓名： | 曹妩媚 刘祖黎 姚凯伦 |
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| 作者单位： | 华中科技大学物理系
(曹妩媚，刘祖黎)，华中科技大学物理系(姚凯伦) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (1 9775 0 1 6) |
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| 摘 要： | 以无机盐SnCl4 ·5H2 O ,SbCl5,NiCl2 ·6H2 O为原料 ,采用溶胶 凝胶工艺制备了Sb2 O3 和NiO掺杂的SnO2 薄膜 .研究了SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜的电学和气敏性能 .实验研究表明 ,由于锑的掺杂 ,所制得的SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜电阻较低 ,室温下其电阻只有 1 2 0kΩ/□ .而NiO作为催化剂 ,使其对NOx 气体具有较高的灵敏度和良好的选择性 .与SnO2 ∶Sb薄膜相比 ,其工作温度大大降低 ,在常温下对NOx 气体 (主要成分是NO)也具有一定的灵敏度 ;并且水汽不影响其对NOx 气体的灵敏度 .SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜工作温度的降低主要是薄膜表面缺陷和颈连粒子的存在所致 .
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| 关 键 词： | sol-gel工艺 气敏薄膜 气敏及电学性能 |
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