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直径为2mm电磁型微电动机的研究
引用本文:张寿柏,张琛.直径为2mm电磁型微电动机的研究[J].上海交通大学学报,1996,30(9):133-136,146.
作者姓名:张寿柏  张琛
摘    要:运用微细加工方法研制新颖直径为2mm,速度可调的电磁型微电动机,并讨论了电磁型微电动机的驱动原理和制备方法。

关 键 词:电磁型  微电动机  微细加工  微机械  机器人
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