| 微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术 |
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| 引用本文： | 曾伟梁,王振龙,董德生.微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术[J].上海交通大学学报,2007,41(10):1565-1568. |
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| 作者姓名： | 曾伟梁 王振龙 董德生 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,机电工程学院,哈尔滨,150001;哈尔滨师范大学,信息科学系,哈尔滨,150080
2. 哈尔滨工业大学,机电工程学院,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 针对LIGA制作微细群电极工艺复杂、价格昂贵的缺点,提出微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术.根据微细电火花放电的机理,利用微细群孔放电反拷来制作微细群电极.基于微细群电极反拷电加工时圆柱电极不能旋转的特点,在加工中复合了超声振动,并在理论分析的基础上,系统地研究超声振动对微细群电极反拷电加工的影响.得到一系列3×3的微细群电极和由这些群电极制作的微细群孔,单电极直径小于30μm,长径比大于10,表面光洁,有很好的同轴度.
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| 关 键 词： | 微细电火花加工 群电极 超声复合 反拷 |
| 文章编号： | 1006-2467（2007）10-1565-04 |
| 修稿时间： | 2006-11-19 |
Reverse Copying Technology for Micro-electrode Array Fabrication by Ultrasonic Enhanced Micro-EDM |
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| ZENG Wei-liang,WANG Zhen-long,DONG De-sheng.Reverse Copying Technology for Micro-electrode Array Fabrication by Ultrasonic Enhanced Micro-EDM[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,2007,41(10):1565-1568. |
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| Authors: | ZENG Wei-liang WANG Zhen-long DONG De-sheng |
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| Institution: | 1. School of Mechatronics Eng. , Harbin Inst. of Technology, Harbin 150001, China; 2. Dept. of Information Science, Harbin Normal Univ. , Harbin 150080, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-electrical discharge machining(EDM) micro-electrode array ultrasonic enhanced (reverse) copy |
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