| TiN/AlN纳米混合膜的微结构及力学性能 |
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| 引用本文： | 李戈扬,施晓蓉,辛挺辉,吴亮,李鹏兴.TiN/AlN纳米混合膜的微结构及力学性能[J].上海交通大学学报,1999,33(2):162-164. |
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| 作者姓名： | 李戈扬 施晓蓉 辛挺辉 吴亮 李鹏兴 |
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| 作者单位： | 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 200030 |
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| 摘 要： | 通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜．采用ＸＲＤ衍射、ＴＥＭ和显微硬度等测试方法对ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究．结果表明，ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜的晶粒大小为１０～２０ｎｍ；薄膜总体表现出硬度增强效果，在ＴｉＮ∶ＡｌＮ（体积比）≈１∶１时，薄膜硬度获得极大值ＨＫ３２．２５ＧＰａ．
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| 关 键 词： | 纳米薄膜 磁控溅射 硬度 |
| 修稿时间： | 1998-02-26 |
Microstructure and Mechanical Properties of TiN/AlN Nano Granular Thin Films |
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| Li Geyang,Shi Xiaorong,Xin Tinghui,Wu Liang,Li Pengxing.Microstructure and Mechanical Properties of TiN/AlN Nano Granular Thin Films[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,1999,33(2):162-164. |
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| Authors: | Li Geyang Shi Xiaorong Xin Tinghui Wu Liang Li Pengxing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nano granular thin films magnetron sputtering hardness |
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