| 柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究 |
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| 引用本文： | 吴澄,陈迪,胡锐军,陈景东,陈翔,王晓韡,吕宝粮.柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究[J].上海交通大学学报,2011,45(7):1035-1040. |
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| 作者姓名： | 吴澄 陈迪 胡锐军 陈景东 陈翔 王晓韡 吕宝粮 |
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| 作者单位： | (上海交通大学 a.微纳科学技术研究院，微米纳米加工技术国家级重点实验室;b.计算机科学与工程系仿脑计算与机器智能研究中心;c.智能计算与智能系统教育部 微软重点实验室，上海 200240) |
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| 基金项目： | 上海市科学技术委员会资助项目(09511502400) |
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| 摘 要： | 设计了一种新型的脑电图干电极，主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析，替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术，在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现干电极微针的悬臂梁结构，利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)剥离层实现器件从玻璃基底的完全释放，并经平面电极的多层组装实现了立体电极阵列.实验中干电极以聚酰亚胺作为柔性衬底，其针端及导线部分材料为镍，针端部分表面镀金.采用Neuroscan的脑电信号采集放大器对干电极性能进行了测试，测得阻抗约为10 kΩ，其时域和频域信号与传统湿电极基本一致.所制备的干电极成品率高、尺寸小、屏蔽佳、装配简单、可靠性好、机械强度大，符合快速、无痛的脑电信号采集要求.
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| 关 键 词： | 干电极阵列 柔性衬底 微电子机械系统技术 多层组装 脑电图 |
| 收稿时间： | 2010-09-08 |
Fabrication of Dry Electroencephalography Electrode Using Flexible Substrate MEMS Technique |
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| Institution: | (a.National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology; b.Center for Brain-like Computing and Machine Intelligence, Department of Computer Science and Engineering; c.MOE-Microsoft Key Lab for Intelligent Computing and Intelligent Systems, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, China) |
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| Abstract: | A novel dry electroencephalography(EEG) electrode was fabricated for the vigilance analysis based on EEG signal acquisition,which is conventionally acquired by wet electrodes.Flexible substrate MEMS fabrication technique was applied to fabricate the flexible dry micro-needle electrode array,which is chemical stable and bio-compatible.Featuring its cantilever structured micro-needles,the electrode was fabricated by wet etching of Cu sacrificial layer process.The electrodes were then released from substrate b... |
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| Keywords: | dry electrode array flexible substrate microeletro mechanical system(MEMS) technique multi-layer assembly electroencephalography(EEG) |
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