| 溶胶—凝胶法制备SnO2气敏薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 刘威,曹立礼.溶胶—凝胶法制备SnO2气敏薄膜的研究[J].中山大学学报(自然科学版),2001,40(3):56-59. |
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| 作者姓名： | 刘威 曹立礼 |
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| 作者单位： | [1]中山大学化学与化学工程学院，广东广州510275 [2]清华大学化学系，北京100084 |
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| 摘 要： | 以SnCl2.2H2O及乙醇为原料，利用溶胶－凝胶法制备SnO2纳米薄膜，探讨了制膜的工艺条件用XRD，SEM，TEM，AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质，同时考察了薄的晶相结构、晶粒尺寸，表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系。
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶法 传感器 二氧化锡 气敏薄膜 |
| 文章编号： | 0529-6579(2001)03-0056-04 |
| 修稿时间： | 2000年8月11日 |
Preparation and
Characterization of SnO2 Film by Sol-Gel Method |
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| LIU Wei.Preparation and
Characterization of SnO2 Film by Sol-Gel Method[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni,2001,40(3):56-59. |
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| Authors: | LIU Wei |
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