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| 共模抑制干涉及其应用研究 | |
| 引用本文： | 屠大维,孙微远.共模抑制干涉及其应用研究[J].上海大学学报(自然科学版),1995,1(5):514-520. |
| 作者姓名： | 屠大维 孙微远 |
| 作者单位： | 上海大学机械电子工程学院，中科院上海技术物理研究所 |
| 摘 要： | 本文提出一种适合于表面微观轮廓表面三维面形测量的共模抑制干涉技术，该项技术可以有效地克服同类仪器中环境干扰、导轨误差及光源振幅噪声的影响，具有高精度、高稳定性的特点，文中将该技术应用于表面轮廓仪作为实例进行研究，取得了轮廓测量精度优于４ｎｍ，横向分辨率为１．２μｍ的结果，并且仪器结构简单、成本低，便于安装及调试，适合于车间现场在线测量，充分显示了共模抑干涉技术的优越性能。 |
| 关 键 词： | 干涉仪 共模抑制技术 表面面形 测量 表面轮廓 |
Common-mode Rejection Interferometer and Its Application |
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| Tu Dawei,Gao Zhimin,Jin Shiliang.Common-mode Rejection Interferometer and Its Application[J].Journal of Shanghai University(Natural Science),1995,1(5):514-520. | |
| Authors: | Tu Dawei Gao Zhimin Jin Shiliang |
| Abstract: | |
| Keywords: | interferometer common-mode rejection surface topography measurement surface profile measurement |
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