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真空反应蒸发法制备ZnO透明导电薄膜
引用本文:马瑾,李淑英.真空反应蒸发法制备ZnO透明导电薄膜[J].山东大学学报(自然科学版),1994,29(2):230-234.
作者姓名:马瑾  李淑英
摘    要:

关 键 词:薄膜  电阻率  氧化锌  反应蒸发法
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