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| 稀土硅化物的制备及红外吸收光谱 | |
| 引用本文： | 程兴奎,王家俭.稀土硅化物的制备及红外吸收光谱[J].山东大学学报(自然科学版),1997,32(2):171-173. |
| 作者姓名： | 程兴奎 王家俭 |
| 作者单位： | [1]山东大学光电材料与器件研究所 [2]山东大学物理系 |
| 摘 要： | 报导了由射频溅射制备稀土硅化物薄膜，样品的红外吸收光谱中，在８６５ｃｍ＾－１有一个强吸收峰，而在４６２ｃｍ＾－１有一个弱吸收峰。样品进行了高温退火后，强吸收峰基本没有变化，而弱吸收峰随退火温度的升高而增强，我们认为强吸收峰是ＹＳｉ２的键振动吸收，而弱峰是ＹＳｉ的键振吸收。 |
| 关 键 词： | 稀土硅化物 制备 红外吸收光谱 射频溅射 |
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