| 溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响 |
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| 引用本文： | 范丽琴,裴瑜,林丽梅,詹仁辉,赖发春.溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响[J].福建师范大学学报(自然科学版),2008,24(5). |
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| 作者姓名： | 范丽琴 裴瑜 林丽梅 詹仁辉 赖发春 |
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| 作者单位： | 福建师范大学物理与光电信息科技学院,福建,福州,350007 |
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| 基金项目： | 福建省自然科学基金，福建省科技厅科技计划，福建省教育厅科研项目 |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射在BK-7玻璃基片上沉积掺铝氧化锌薄膜,研究溅射功率对薄膜光电性能的影响.当溅射功率从250 W增加到400 W时,X射线衍射的结果发现,250 W制备的薄膜只有(002)衍射峰,而300 W以上的样品则出现了新的(101)衍射峰;而且随着溅射功率的增加,(002)峰的强度减弱,(101)峰的强度增强.薄膜的厚度随溅射功率的增加而变厚,电阻率随溅射功率的增加而减小,从200 W功率时的24.6×1-0 4Ωcm减小到400W时的7.2×1-0 4Ωcm.样品在可见光区域的平均光学透射率都大于85%,其光学带隙随载流子浓度的减小而减小.
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| 关 键 词： | 掺铝氧化锌薄膜 溅射功率 电学性质 光学性质 |
Influence of Sputtering Power on the Optical and Electrical Properties of ZnO:Al Films |
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| FAN Li-qin,PEI Yu,LIN Li-mei,ZHAN Ren-hui,LAI Fa-chun.Influence of Sputtering Power on the Optical and Electrical Properties of ZnO:Al Films[J].Journal of Fujian Teachers University(Natural Science),2008,24(5). |
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| Authors: | FAN Li-qin PEI Yu LIN Li-mei ZHAN Ren-hui LAI Fa-chun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Aluminium-doped zinc oxide film sputtering power electrical properties optical properties |
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