| 磁控溅射离子镀膜组织与相结构的电镜研究 |
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| 引用本文： | 王斐杰,陈宝清,王家祥,牛铁永,王玉魁,朱英臣.磁控溅射离子镀膜组织与相结构的电镜研究[J].大连理工大学学报,1986(3). |
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| 作者姓名： | 王斐杰 陈宝清 王家祥 牛铁永 王玉魁 朱英臣 |
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| 作者单位： | 大连工学院材料系离子工学研究室
(王斐杰，陈宝清，王家祥，牛铁永，王玉魁)，大连工学院材料系离子工学研究室(朱英臣) |
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| 摘 要： | 本文主要应用JEM-100CXⅡ型透射电镜研究了在Ｃ-u基材上磁控溅射离子镀Ａl及ＣｒＮｉ不锈钢时的沉积层组织与相结构。研究发现; 在一系列沉积工艺条件下，Ｃｕ基镀 ＣｒＮｉ不锈钢时，其涂层结构只含一种 Ｆｅ基 α相;镀 Ａl时，随基板偏压升高,可获得一系列新合金相，如；Al,AlCu,Al-2Cu-3,Al-4Cu-9,ＡlＣｕ-3，ＡlＣｕ-4，ａＣｕ等。这些结果将为进一步探索这类涂层的形成机理提供必要的理论与实验根据。
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| 关 键 词： | 磁控溅射离子镀 表面技术 透射电镜研究 |
The Transmission Electron Microscopic Investigation on the Structure and Phase Structure of the Magnetron-Sputtering Ion-Plating Films |
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| Wang Feijie,Chen Baoqing,Wang Jiaxian,Niu Tieyong,Wang Yukui,Zhu Yingchen Ion -Plating Research Section of the Materials Engineering.The Transmission Electron Microscopic Investigation on the Structure and Phase Structure of the Magnetron-Sputtering Ion-Plating Films[J].Journal of Dalian University of Technology,1986(3). |
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| Authors: | Wang Feijie Chen Baoqing Wang Jiaxian Niu Tieyong Wang Yukui Zhu Yingchen Ion -Plating Research Section of the Materials Engineering |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron-sputtering ion-plating films finishing-technology study by transmission electron microscope |
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