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抗反射亚波长光栅的特性研究
引用本文:王植恒,傅克祥,文军,王磊.抗反射亚波长光栅的特性研究[J].大连理工大学学报,1997(Z2).
作者姓名:王植恒  傅克祥  文军  王磊
作者单位:四川大学物理系
摘    要:抗反射亚波长光栅的特性研究王植恒傅克祥文军王磊(四川大学物理系成都610064)本文利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数(光栅深度、基底厚度、占空比、光栅周期)对反射率的影响,发现不仅光栅深度、占空比、光栅周期对反射率存在影响,而...

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