抗反射亚波长光栅的特性研究 |
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引用本文: | 王植恒,傅克祥,文军,王磊.抗反射亚波长光栅的特性研究[J].大连理工大学学报,1997(Z2). |
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作者姓名: | 王植恒 傅克祥 文军 王磊 |
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作者单位: | 四川大学物理系 |
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摘 要: | 抗反射亚波长光栅的特性研究王植恒傅克祥文军王磊(四川大学物理系成都610064)本文利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数(光栅深度、基底厚度、占空比、光栅周期)对反射率的影响,发现不仅光栅深度、占空比、光栅周期对反射率存在影响,而...
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