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| 广义衍射光栅位移测量技术的研究 | |
| 引用本文： | 邾继贵,陶国智.广义衍射光栅位移测量技术的研究[J].大连理工大学学报,1997(Z2). |
| 作者姓名： | 邾继贵 陶国智 |
| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器重点实验室 |
| 摘 要： | 广义衍射光栅位移测量技术的研究邾继贵陶国智（天津大学精密测试技术及仪器重点实验室３０００７２）衍射光栅可用于位移的精密测量，但对光栅的质量有严格的要求，从而限制了它的应用。本文从理论上研究了采用一般表面作为广义衍射元件进行位移测量的技术，分析表明：该... |
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