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| 微机电系统(MEMS)技术及其应用 | |
| 引用本文： | 魏强.微机电系统(MEMS)技术及其应用[J].泰山学院学报,2002,24(6):56-58. |
| 作者姓名： | 魏强 |
| 作者单位： | 泰山学院,物理系,山东,泰安,271021 |
| 摘 要： | 微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势. |
| 关 键 词： | 微机电系统 微机械 微传感器 微细加工技术 |
| 文章编号： | 1003-7888(2002)06-0056-03 |
| 修稿时间： | 2002年6月7日 |
Technology of micro electro mechanical system and its application |
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| Abstract: | |
| Keywords: | micro electro mechanical system (MEMS) micro-machine micro-sensor micro fabrication technology |
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