| MEMS热式微流量传感器发展综述 |
| |
| 引用本文： | 张元,李辉.MEMS热式微流量传感器发展综述[J].中国西部科技,2015(1):13-15. |
| |
| 作者姓名： | 张元 李辉 |
| |
| 作者单位： | 1. 芜湖科技创新服务中心,安徽 芜湖,241001
2. 安徽师范大学物理与电子信息学院,安徽 芜湖,241000 |
| |
| 基金项目： | 安徽师范大学青年教师科研专项资助基金(基金号160-721340)；安徽省高等学校省级自然科学研究项目(项目号KJ2013Z094)。 |
| |
| 摘 要： | MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点,在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构,随后阐述了此类传感器的分类、发展历史与技术特性,最后展望了其今后的发展趋势和应用前景。
|
| 关 键 词： | 微流量传感器 MEMS 热温差 灵敏度 |
Development of MEMS Thermal Micro-Flow Sensor |
| |
| ZHANG Yuan,LI Hui.Development of MEMS Thermal Micro-Flow Sensor[J].Science and Technology of West China,2015(1):13-15. |
| |
| Authors: | ZHANG Yuan LI Hui |
| |
| Institution: | ZHANG Yuan;LI Hui;Wuhu Technological Innovation Service Center;Anhui Normal University, School of Physics and electronic information; |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Micro-flow Sensor MEMS Temperature Difference Sensitivity |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
