| 静电键合用微晶玻璃的研究 |
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| 引用本文： | 常鹰,卢安贤.静电键合用微晶玻璃的研究[J].中南大学学报(自然科学版),2003,34(5):472-475. |
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| 作者姓名： | 常鹰 卢安贤 |
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| 作者单位： | 中南大学,材料科学与工程学院,湖南,长沙,410083 |
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| 摘 要： | 采用传统熔体冷却方法,研究以TiO2为成核剂、以Li2O Al2O3 SiO2为基础组成的玻璃的制备工艺;根据差热分析(DTA)的结果确定玻璃的核化与晶化温度,然后针对基础玻璃组成,采用二步热处理方法获得透明的微晶玻璃;用X射线衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对晶化试样的物相和显微结构进行研究;用热膨胀仪测定玻璃在热处理前、后的热膨胀系数;用绝缘电阻测试仪测试该微晶玻璃的电阻率.研究结果表明:微晶玻璃的主晶相为Al2O3·TiO2微晶体,次晶相为ZnSiO3;微晶玻璃与硅片有相近的热膨胀系数,约为32.5×10-7/℃;微晶玻璃晶化后的电阻率较低,为6.8×1010Ω·cm.
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| 关 键 词： | Li2O-Al2O3-SiO2系统 微晶玻璃 静电键合 |
| 文章编号： | 1005-9792(2003)05-0472-04 |
| 修稿时间： | 2003年3月20日 |
Investigation of the glass-ceramics used as anodic bonding material |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Li_2O-Al_2O_3-SiO_2 system glass-ceramics anodic bonding |
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