微动力驱动器研究综述

对微动力驱动器的组成材料、磁电效应、智能构件和微力产生与控制的国内外研究现状和应用背景进行综述,并重点就微动力驱动器的微力产生方式进行了评述。进而结合微机电系统的研究现状对微动力驱动器的应用前景进行展望,以期为微机电系统的精密加工装备研究提供参考。