| 硅膜厚度对Si/β-FeSi2/Si在宽光谱范围的传输特性影响 |
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| 引用本文： | 熊锡成,谢泉,姜淳,黄全振,武兴会.硅膜厚度对Si/β-FeSi2/Si在宽光谱范围的传输特性影响[J].信阳师范学院学报(自然科学版),2023(3):428-432. |
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| 作者姓名： | 熊锡成 谢泉 姜淳 黄全振 武兴会 |
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| 作者单位： | 1. 河南工程学院电气信息工程学院;2. 贵州大学大数据与信息工程学院;3. 上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(U2004162)；;河南省科技攻关项目(212102310907)；;教育部科技创新工程重大项目培育资金项目(708038)； |
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| 摘 要： | 分析了β-FeSi2和Si在可见光和近红外(NIR)范围内的复折射率，并设计了由Si和β-FeSi2组成的简单的三层薄膜结构Si/β-FeSi2/Si。顶层硅的厚度是可变的，但中间层β-FeSi2的厚度和底层硅的厚度都是固定的。在可见光和近红外范围内，利用菲涅耳理论和有限元数值分析方法分析了该结构在光垂直入射情况下的光学传输特性，并解释了其物理机制。材料Si在波长0.30～0.37μm范围有巨大的反常色散dn/dλ=30.5μm-1,而材料β-FeSi2在波长0.30～1.10μm范围有较大的反常色散dn/dλ=5μm-1。结果表明，这种设计简单的膜层结构可以应用于许多光电器件中，并且反射率和透射率等性能可以通过顶层硅厚度的变化进行灵活调整。当波长在可见光范围和近红外范围内时，该结构的透射率和反射率均有显著差异。
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| 关 键 词： | β-FeSi2/Si 可见光 近红外光 光学传输特性 |
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