| 256×1甚长波多量子阱红外焦平面线列研制 |
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| 引用本文： | 郭方敏,李宁,熊大元,甄红楼,徐向晏,候颖,丁瑞军,陆卫,黄绮,周均铭.256×1甚长波多量子阱红外焦平面线列研制[J].中国科学(G辑),2008,38(8):1075-1082. |
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| 作者姓名： | 郭方敏 李宁 熊大元 甄红楼 徐向晏 候颖 丁瑞军 陆卫 黄绮 周均铭 |
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| 作者单位： | ① 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室, 上海 200083;
② 中国科学院物理研究所, 北京 100190 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号: 10374095)和上海市自然科学基金(编号: 04ZR14038)项目资助 |
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| 摘 要： | 通过材料设计与制备，甚长波GaAs／AlGaAs多量子阱红外探测器的峰值响应波长14．6μm，响应带宽大于2．2μm．256×1焦平面线列采用垂直入射二维光栅耦合工作模式，45K温度下，单元响应率4．28×10^-2A／W、单元黑体探测率Db＊=5．14×10^9cm．Hz^1.2/W、单元黑体单色探测率Dλ＊=4．24×10^10cm．Hz^1/2/W．通过铟柱与互补式金属一氧化物一半导体读出电路互连得到的甚长波量子阱红外探测器FPA（focal planearray）在积分时间100μs时，有效像元率Nef=99．22％、平均响应率R=3．485×10^6V/W、响应率的不均匀性UR=5．83％、平均黑体探测率典型值Db^＊=2．181×10^8cm．Hz^1/2/w、平均单色探测率Dλ^＊=8．288×10^9cm．Hz^1/2/W．器件已适合进行室温目标的热像图．
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| 关 键 词： | 量子阱 焦平面 超长波 红外探测器 衍射光栅 |
| 收稿时间： | 2007-03-27 |
| 修稿时间： | 2007-08-07 |
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