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薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟
引用本文:郑小平,张佩峰,贺德衍,刘军,马健泰.薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟[J].中国科学(G辑),2004,34(2):131-140.
作者姓名:郑小平  张佩峰  贺德衍  刘军  马健泰
作者单位:1. 兰州交通大学数理与软件工程学院,兰州,730050
2. 兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000
3. 兰州大学化学化工学院,兰州,730000
基金项目:国家自然科学基金(批准号: 10175030),兰州大学博士后基金资助项目
摘    要:以Cu膜为例, 用Monte Carlo算法模拟了薄膜生长的随机过程. 找到了生长过程中的三个优化温度, 并研究了它们的渐近一致性, 同时对各种温度区间内表面粗糙度、相对密度随入射率的变化规律进行深入的探讨. 模拟中考虑了一些新的效应, 如原子迁移过程中势能的变化, 以及原子扩散引起的连带效应, 从而使模拟更加合理. 模型中采用了冻结周围原子近似和周期性边界条件处理.

关 键 词:Carlo算法  计算机模拟  岛核  薄膜生长  粗糙度  相对密度  Monte
收稿时间:2003-10-30
修稿时间:2004-01-03
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