薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟 |
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引用本文: | 郑小平,张佩峰,贺德衍,刘军,马健泰.薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟[J].中国科学(G辑),2004,34(2):131-140. |
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作者姓名: | 郑小平 张佩峰 贺德衍 刘军 马健泰 |
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作者单位: | 1. 兰州交通大学数理与软件工程学院,兰州,730050 2. 兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000 3. 兰州大学化学化工学院,兰州,730000 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(批准号: 10175030),兰州大学博士后基金资助项目 |
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摘 要: | 以Cu膜为例, 用Monte Carlo算法模拟了薄膜生长的随机过程. 找到了生长过程中的三个优化温度, 并研究了它们的渐近一致性, 同时对各种温度区间内表面粗糙度、相对密度随入射率的变化规律进行深入的探讨. 模拟中考虑了一些新的效应, 如原子迁移过程中势能的变化, 以及原子扩散引起的连带效应, 从而使模拟更加合理. 模型中采用了冻结周围原子近似和周期性边界条件处理.
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关 键 词: | Carlo算法 计算机模拟 岛核 薄膜生长 粗糙度 相对密度 Monte |
收稿时间: | 2003-10-30 |
修稿时间: | 2004-01-03 |
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