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硅基底的CVD扩磷工艺研究

引用本文：	杨旭,何晓雄,胡冰冰,马志敏.硅基底的CVD扩磷工艺研究[J].合肥工业大学学报(自然科学版),2014(2):192-195.

作者姓名：	杨旭何晓雄胡冰冰马志敏

摘要：
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