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磁控溅射和热还原退火法制备VO2薄膜及其性能简

引用本文：	张元元,李合琴,胡仁杰,李　辉.磁控溅射和热还原退火法制备VO2薄膜及其性能简[J].合肥工业大学学报(自然科学版),2014(1):34-37.

作者姓名：	张元元李合琴胡仁杰李　辉

摘要：
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