| ZAO透明薄膜厚度对其导电膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 靳铁良,马勇.ZAO透明薄膜厚度对其导电膜性能的影响[J].郑州大学学报(理学版),2007,39(3):120-123. |
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| 作者姓名： | 靳铁良 马勇 |
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| 作者单位： | 1. 平顶山学院电气信息工程学院,河南,平顶山,467002
2. 重庆师范大学物理学与信息技术学院,重庆,400047 |
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| 摘 要： | 研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO:Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率为4.9×1 0-4Ω.cm,平均透射率达到了88%.
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| 关 键 词： | 直流反应磁控溅射 ZAO薄膜 厚度 光电性能 |
| 文章编号： | 1671-6841(2007)03-0120-04 |
| 修稿时间： | 2006年12月8日 |
Thickness of ZnO:Al Transparent Thin Films Influencing Its Conductance |
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| JIN Tie-liang,MA Yong.Thickness of ZnO:Al Transparent Thin Films Influencing Its Conductance[J].Journal of Zhengzhou University:Natural Science Edition,2007,39(3):120-123. |
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| Authors: | JIN Tie-liang MA Yong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DC reactive magnetron sputtering ZAO film film thickness optical and electrical property |
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