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| ~(75)A_S~ 离子注入的AI_2O_3膜抗腐蚀性的研究 | |
| 引用本文： | 李金华,张永恩,夏曰源.~(75)A_S~ 离子注入的AI_2O_3膜抗腐蚀性的研究[J].山东大学学报(理学版),1981(4). |
| 作者姓名： | 李金华 张永恩 夏曰源 |
| 作者单位： | 山东大学物理系 (李金华，张永恩)，山东大学物理系(夏曰源) |
| 摘 要： | 本文研究了用~(75)A_s~ 离子注入的Al_2O_3膜的抗腐蚀性。Al_2O_3膜在磷酸中的最小腐蚀速率(或最佳的~(75)A_s~ 杂质浓度)能根据实验结果和类高斯离子射程分布得到。实验结果表明,注入离子的Al_2O_3膜在H_3PO_4—CrO_3溶液中的腐蚀率要比未注入的Al_2O_3膜在相同条件下的腐蚀速率小10倍以上。因此,甚至在酸中,离子注入在改善材料表面层的抗腐蚀性方面也是有希望的技术。 |
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