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| X—Y精密微动工作台的研究 | |
| 引用本文： | 叶军.X—Y精密微动工作台的研究[J].青岛大学学报(自然科学版),1996,9(2):72-75. |
| 作者姓名： | 叶军 |
| 摘 要： | 本文提出精密微动工作台中的压电马达特性与应用和弹性铰链结构的原理及简单设计。 |
| 关 键 词： | 压电马达 弹性铰链 微动工作台 工作台 微进机构 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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