| 划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度 |
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| 引用本文： | 冯爱新,张永康,谢华琨,范真.划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度[J].江苏大学学报(自然科学版),2003,24(2):15-19. |
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| 作者姓名： | 冯爱新 张永康 谢华琨 范真 |
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| 作者单位： | 1. 江苏大学机械工程学院,江苏,镇江,212013
2. 成都工具研究所,四川,成都,610056 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50275069)，江苏大学微纳米科学技术研究开放基金资助项目 |
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| 摘 要： | 薄膜—基体界面结合性能是直接关系到膜—基体系最终使用性能和可靠性的关键因素和首要指标．划痕试验法是唯一广泛应用于测量硬质薄膜—基体界面结合强度的实用的检验方法．文中给出划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程，以及临界载荷Lc的确定方法，分析影响临界载荷Lc和压头与薄膜—基体组合体之间摩擦系数μ因素．最后，介绍了常用划痕试验检测的薄膜体系及其特点与划痕形貌．
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| 关 键 词： | 薄膜涂层 界面结合强度 划痕试验法 可靠性 使用寿命 薄膜技术 |
| 文章编号： | 1671-7775(2003)02-0015-05 |
| 修稿时间： | 2002年9月12日 |
Characterization of Interfacial Adhesion and Bond Strength between Thin Film Coating and Substrate by Scratch Testing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin film interfacial adhesion and bond strength scratch testing |
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