GaN光电阴极制备净化与激活超高真空系统设计

针对GaN光电阴极制备净化与激活超高真空系统工艺要求特点，我们研究设计了超真空系统总体结构、抽取装置和高温退火净化装置，根据超高真空系统控制的工艺流程、方法和自动控制要求，提出了以PLC和组态软件为控制核心，对净化与激活装置的真空度、温度和升降机构等参数进行控制的方法。并设计了超高真空自动监控系统中的PLC的操作单元、执行单元、数据采集单元、执行机构硬件结构、控制系统人机界面，以及PLC控制程序和组态软件。GaN光电阴极制备净化与激活超高真空系统具有完全的可视化和数字化，抗干扰能力强，可促进阴极制备超高真空装置的应用和工艺水平的提高。