| 亚微米电解加工的试验研究 |
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| 引用本文： | 吴修娟,曲宁松,曾永彬,王玉峰,朱荻.亚微米电解加工的试验研究[J].东南大学学报(自然科学版),2013(4):777-781. |
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| 作者姓名： | 吴修娟 曲宁松 曾永彬 王玉峰 朱荻 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(91023018) |
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| 摘 要： | 为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电解加工时亚微米工具电极会发生溶解;当溅射层厚度约为310 nm时,溅射层的内应力过大,亚微米工具电极出现弯曲.因此,采用溅射层厚度约为150 nm的亚微米工具电极进行亚微米电解加工.在浓度为0.1mol/L的H2SO4电解液中,施加电压为4 V、周期为50 ns、脉宽为6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,于高温合金试件表面成功加工出亚微米沟槽,沟槽长约30μm,深约80 nm,底部最窄处约为450 nm,入口最宽处约1μm.
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| 关 键 词： | 微纳电解加工 亚微米电解加工 Ag纳米线 工具电极 |
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