| 基于MEMS技术的差分式微波信号相位检测器 |
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| 引用本文： | 焦永昌,廖小平,张俊.基于MEMS技术的差分式微波信号相位检测器[J].东南大学学报(自然科学版),2009,39(1). |
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| 作者姓名： | 焦永昌 廖小平 张俊 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 摘 要： | 提出了基于MEMS技术,由功分器、45°移相器和MEMS电容式微波功率传感器组成差分式微波信号相位检测器,实现了在被测信号幅度未知条件下全周期的相位测量.利用HFSS对各组件进行了模拟设计,包括功分器的模拟与设计和MEMS电容式微波功率传感器的模拟与设计,特别采用GaAs MMIC工艺制作了其中的MEMS电容式微波功率传感器,在8～12 GHz的频率范围内,回波损耗小于-20 dB,插入损耗小于0.2 dB.最后利用ADS对整个系统进行了模拟,模拟结果与理论计算结果的误差在3.5%以内,并进行了误差分析.
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| 关 键 词： | 相位检测 功分器 移相器 MEMS电容式微波功率传感器 |
Differential microwave phase detector based on MEMS technology |
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| Jiao Yongchang,Liao Xiaoping,Zhang Jun.Differential microwave phase detector based on MEMS technology[J].Journal of Southeast University(Natural Science Edition),2009,39(1). |
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| Authors: | Jiao Yongchang Liao Xiaoping Zhang Jun |
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| Institution: | Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education;Southeast University;Nanjing 210096;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | phase detector power divider phase shifter MEMS capacitive RF power sensor |
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