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| “九五”国家重点科技攻关计划成果集锦 | |
| 摘 要： | ·信息技术·硅微机械（MEMS）工艺技术成果主要完成单位：清华大学微电子学研究所联系人：刘理天电话：０１０－６２７８４６８１地址：北京清华大学微电子学研究所邮政编码：１０００８４编号：G２０１０１９该项成果包括了硅微机械（MEMS）加工个关键技术：１．厚光刻胶三维光刻技术包胶、暴光、显影等工艺技术，该技术可得到理厚胶图形化效果和良好的截面形状。２．KOH精密腐蚀加工技术，可加工得到精确的构。３．低应力薄膜制备技术包括：纹膜技术膜技术、低应力多晶硅膜、氮化硅膜、氧化硅备技术。４．表面微机械加工技术包括多… |
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