多电荷Cr离子注入聚合物的微观结构和离子浓度分布

采用MEVVA源引出的Cr离子对聚酯（PET）薄膜进行了离子注入，引出的Cr离子具有多种电荷态，多种能量的Cr离子同时注入，其射程分布与单能离子注入的射程分布有明显的差别，借助于TRIM计算程序，采用多次叠加法得出了合理的计算结果，计算结果表明，由于多电荷叠架注入，Cr原子浓度分布出现3导结构，用散射RBS方法分析了Cr离子在PET中的剖面分布，所测量的Cr原子浓度分布形态与计算结果相近，但是所的分布比计算结果分布范围窄，相应位置上的原子浓度低，说明溅射效应对Cr原子浓度分布和注入到基体中的注量有明显的影响，计算结果与样品横截面电子显微镜观察相符合，这种结构对PET薄膜改性有重要的影响。