| 溅射效应对离子注入聚合物表面形貌的影响 |
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| 引用本文： | 吴瑜光,张通和,刘安东,张荟星.溅射效应对离子注入聚合物表面形貌的影响[J].北京师范大学学报(自然科学版),2002,38(6):755-758. |
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| 作者姓名： | 吴瑜光 张通和 刘安东 张荟星 |
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| 作者单位： | 北京师范大学射线束技术和材料改性教育部重点实验室,北京师范大学低能核物理研究所,北京市辐射中心,100875,北京 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;50141022; |
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| 摘 要： | 采用MEVVA离子注入机引出的离子进行了聚酯薄膜改性研究,考虑到注入离子对表面溅射的强弱与离子的质量密切相关,所以选用质量大小不等的3种离子Cu,Si和C为注入离子,注入后的聚酯膜表面结构发生了很大的变化,用原子力显微镜观察了注入样品表面形貌的变化,表面粗糙度与注入离子质量密切相关.实验结果表明,注入前聚酯薄膜表面粗糙,表面突起密集地分布在表面,其高度可达20～25 nm,C和Si注入后表面突起高度下降到5 nm,随注入离子质量的增加,在注入层粗糙度增加,Cu注入后在表面形成了弥散分布Cu原子的析出纳米颗粒.Cu颗粒起伏高度可达到50 nm.这些变化对聚酯薄膜表面物理化学特性有着重要的影响.
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| 关 键 词： | C Si和Cu离子注入 聚酯膜 表面形貌 原子力显微镜 |
| 修稿时间： | 2002年4月26日 |
THE INFLUENCE OF SPUTTERING EFFECTS ON THE SURFACE MORPHOLOGY FOR C, Si AND Cu IMPLANTED PET |
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| Wu Yuguang,Zhang Tonghe,Liu Andong,Zhang Huixing.THE INFLUENCE OF SPUTTERING EFFECTS ON THE SURFACE MORPHOLOGY FOR C, Si AND Cu IMPLANTED PET[J].Journal of Beijing Normal University(Natural Science),2002,38(6):755-758. |
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| Authors: | Wu Yuguang Zhang Tonghe Liu Andong Zhang Huixing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | C Si and Cu implantation polyethylene terephthalane surface morphology AFM |
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