| 氧氩流量比对氧化铋纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究 |
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| 引用本文： | 陈真英,周际越,邓文,彭富平.氧氩流量比对氧化铋纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究[J].广西大学学报(自然科学版),2021,46(6):1620-1627. |
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| 作者姓名： | 陈真英 周际越 邓文 彭富平 |
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| 作者单位： | 北部湾大学 理学院,广西 钦州 535011;广西大学 物理科学与工程技术学院,广西 南宁 530004 |
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| 摘 要： | 为了制备出不同光电性能的氧化铋薄膜,并明晰其性能机理,以便后续研究与氧化锌薄膜复合成压敏薄膜.采用磁控溅射法,改变溅射气氛中氧气和氩气的流量比,在玻璃衬底上制备出了三个氧化铋薄膜样品,并对其微观形貌、结构及光电性能进行了测试分析.结果表明:溅射气氛中的氧氩流量比对薄膜微结构及光电性能影响显著;不同氧氩流量比制备的Bi2 O3薄膜中均含BiO2和Bi杂相,且随着氧氩流量比由0:40增大至4:36,薄膜中Bi含量减少,BiO2增加;薄膜颜色由黑变黄;沉积速率由14 nm/min减少至12 nm/min;晶粒尺寸增大,表面趋向致密均匀,可见光区透过率由0.25％增加到56.73％;禁带宽度由0增加到3.17 eV;载流子浓度、导电性能急剧降低,调节溅射气氛中氧氩流量比可有效控制氧化铋薄膜的禁带宽度,载流子浓度等,从而获得不同光电性能的薄膜样品.
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| 关 键 词： | 氧化铋薄膜 磁控溅射 氧氩流量比 微结构 光电性能 |
Influence of the flow ratio of oxygen to argon on Microstructure and Photoelectric properties of bismuth oxide nano-films |
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| CHEN Zhen-ying,ZHOU Ji-yue,DENG Wen,PENG Fu-ping.Influence of the flow ratio of oxygen to argon on Microstructure and Photoelectric properties of bismuth oxide nano-films[J].Journal of Guangxi University(Natural Science Edition),2021,46(6):1620-1627. |
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| Authors: | CHEN Zhen-ying ZHOU Ji-yue DENG Wen PENG Fu-ping |
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