首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

微机电系统(MEMS)技术的研究与应用
引用本文:高世桥 曲大成. 微机电系统(MEMS)技术的研究与应用[J]. 科技导报(北京), 2004, 2(4): 17-21
作者姓名:高世桥 曲大成
作者单位:北京理工大学
摘    要:微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小,学科交叉广泛;技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面;学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域,在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器,以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。

关 键 词:微机电系统  MEMS  微机械加工  智能控制

Researches on Microelectromechanical Systems and Its Applications
Abstract:
Keywords:
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号