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| 微电子技术的又一次革命——微电子机械系统（MEMS）发展展望 | |
| 引用本文： | 李志坚.微电子技术的又一次革命——微电子机械系统（MEMS）发展展望[J].科技导报(北京),1997(9):3-5. |
| 作者姓名： | 李志坚 |
| 作者单位： | 清华大学教授!北京，100084 |
| 摘 要： | 一、引言MEMS一词由MicroElectroMechanicalSystem的4个字首组成，可译为微电子机械系统。MEMS的起源可以追溯到60年代，1989年后MEMS一词就渐渐成为一个世界性的学术用语，MEMS技术的研究开发也日益成为国际上的一个热点。与MEMS一词同时流行的还有MicroMachine（微机械）和MicroSystem（微系统）。它们都以微小（Micro）为特征，有的强调机械，有的强调系统，但当前人们常不加区别地与MEMS通用。一般地说，MEMS具有以下非约束性的特征：（1）尺寸在毫米到微米范围之内，区别于一般宏（Macro），即传统的、大于1cm尺度的“… |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 制造技术 微机械加工 灵巧传感器 |
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