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| 微细加工技术发展研究 | |
| 引用本文： | 谢常青,陈梦真.微细加工技术发展研究[J].科技导报(北京),1995(1):36-37,14. |
| 作者姓名： | 谢常青 陈梦真 |
| 作者单位： | 中国科学院微电子中心 |
| 摘 要： | 微细加工技术发展研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＭｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ谢常青，陈梦真（中国科学院微电子中心，北京１０００１０）微细加工技术是集成电路（ＩＣ）工业的基础，是半导体器件研究的必要手段。其中的ＩＣ以动态随机存储器（ＤＲ... |
| 关 键 词： | 微细加工技术 发展 集成电路 半导体 |
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