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| 用于半导体制造的超纯不锈钢的开发 | |
| 摘 要： | 用于半导体制造的超纯不锈钢的开发日本住友金属工业公司开发了一种用于半导体制造工艺中提供气体的超纯净不锈钢管。这种纯化的３１６Ｌ不锈钢，命名为“Ｓｕ－ｍｉｃｌｅａｎｎｌ”，其制造工艺为：在真空感应炉中冶炼，然后真空自耗炉重熔。该钢的特点，是导致形成非金... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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