| 外延ZnO压电薄膜的声表面波特性分析 |
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| 引用本文： | 张柏顺,刘江华,江娟,梁坤,章天金.外延ZnO压电薄膜的声表面波特性分析[J].湖北大学学报(自然科学版),2003,25(2):130-132. |
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| 作者姓名： | 张柏顺 刘江华 江娟 梁坤 章天金 |
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| 作者单位： | 湖北大学物理学与电子技术学院，湖北大学物理学与电子技术学院，湖北大学物理学与电子技术学院，湖北大学物理学与电子技术学院，湖北大学物理学与电子技术学院 湖北武汉430062，湖北武汉430062，湖北武汉430062，湖北武汉430062，湖北武汉430062 |
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| 基金项目： | 武汉市科技晨光计划资助项目(20015005032) |
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| 摘 要： | 采用RF平面磁控溅射技术在单晶Al2O3衬底上淀积了ZnO薄膜.研究了ZnO薄膜的结构特性及电学性能,XRD结果表明:在Al2O3衬底上沉积的ZnO薄膜是高度c轴取向的.电阻率测试结果表明:在纯氧中高温退火,薄膜的电阻率提高到107Ω·cm量级.对于ZnO Al2O3结构的SAW器件,随着ZnO薄膜厚度的减小,其机电耦合系数降低,但声表面波速率增加.
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| 关 键 词： | ZnO压电薄膜 氧化锌薄膜 声表面波 薄膜结构 电学性能 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1000-2375(2003)02-0130-03 |
| 修稿时间： | 2003年3月17日 |
Analysis of SAW properties for epitaxial ZnO thin films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetic-control sputtering system ZnO films SAW structural properties |
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