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| 时间监控法制备窄带滤光膜系工艺技术 | |
| 作者单位： | ;1.河南平原光电有限公司精密光学制造部 |
| 摘 要： | 基于规整全介质窄带滤光膜系初始结构,采用光学薄膜软件中单纯形算法优化出了所需光谱特性曲线,并对制备结果进行了拟合反演,依靠时间监控的离子束溅射镀膜机制备了中心波长950±2 nm,半宽度50 nm,峰值透过率大于90%,截止透射率小于0. 5%的窄带滤光膜系。 |
| 关 键 词： | 窄带滤光膜 时间监控 拟合 光谱 |
Technology of narrow bandpass interference filter by time monitoring method |
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| Keywords: | |