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| AlN／Al多层膜的红外反射谱研究 | |
| 引用本文： | 徐则川,李义兵.AlN／Al多层膜的红外反射谱研究[J].华中理工大学学报,1997,25(3):93-95. |
| 作者姓名： | 徐则川 李义兵 |
| 作者单位： | [1]华中理工大学固体电子学系 [2]长沙铁道学院 |
| 摘 要： | 分析了含极薄金属膜的多层膜的红外反射谱，给出了一般的分析方法，包括：极薄金属膜的光学常数与膜厚的关系；岛状薄膜的光学常数与几何尺寸的关系；并进一步分析了多层膜中的表面电磁振动模及其对反射谱的影响，针对ＡｌＮ／Ａｌ多层膜的计算所得结果与实验相一致。 |
| 关 键 词： | 薄膜 多层膜 红外反射谱 氮化铝 铝 光学常数 |
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