nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜

介绍一种用ｎｍ级制造具有ｘｙｚ三维微定位能力的扫描描探针显微镜。采用电磁足周期性地夹紧与松开，结合压电陶瓷管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构。