| 掺氮氧化锌薄膜的P型转变研究 |
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| 引用本文： | 陈奇,李敏君.掺氮氧化锌薄膜的P型转变研究[J].牡丹江师范学院学报(自然科学版),2010(2):21-23. |
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| 作者姓名： | 陈奇 李敏君 |
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| 作者单位： | 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省级重点实验室,黑龙江牡丹江,157012 |
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| 基金项目： | 黑龙江省科技攻关项目，黑龙江省自然科学基金项目，牡丹江师范学院研究生学术科技创新项目9JSXSCX2009-05mdjnu) |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在室温下制备了氮掺杂ZnO薄膜.用蓝宝石为衬底,氩气和不同流量的氮气为溅射气体.使用拉曼光谱仪对样品进行分析,在275cm-1位置为氮掺杂所引起的峰.样品经高温真空退火后,随着氮气流量的上升,薄膜中的载流子浓度有下降趋势,在氮气流量为6sccm时,薄膜具有较高的空穴载流子浓度,实现了氮的受主掺杂,氧化锌薄膜的导电类型实现了P型转变.
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| 关 键 词： | 射频磁控溅射 氮掺杂氧化锌薄膜 P型 |
P-type Transition of N-Doped ZnO Films |
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| CHEN Qi,LI Min-jun.P-type Transition of N-Doped ZnO Films[J].Journal of Mudanjiang Teachers' College(Natural Sciences Edition),2010(2):21-23. |
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| Authors: | CHEN Qi LI Min-jun |
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