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氢化碳膜的胺掺杂及其对甲酸蒸气的质量传感特性
引用本文:颜永红,曾健平,尹霞,黄敬良,黄磊,陈宗璋.氢化碳膜的胺掺杂及其对甲酸蒸气的质量传感特性[J].湖南大学学报(自然科学版),2000,27(4):26-30.
作者姓名:颜永红  曾健平  尹霞  黄敬良  黄磊  陈宗璋
作者单位:1. 湖南大学应用物理系,湖南长沙,410082
2. 湖南大学化学化工学院,湖南长沙,410082
基金项目:浙江省湖州市自然科学基金,99JJY2070,
摘    要:通过将其他元素或原子基团掺入氢化非晶碳膜网结构中的方法,可以实现对α-C:H薄膜的改性,赋予α-C:H膜新的特性,从而满足某些特殊应用的需要,用含胺基的碳氢化合物正丁胺作为碳源,用等离子体增强化学气相沉积方法制备α-C:H膜.薄膜的红外光分析表明胺基团已掺入薄膜的网络结构中,喇曼光谱分析表明薄膜具有无序态碳、三配位碳和四配位碳原子的混合结构,但主要成份为无序态碳,将掺胺的α-C:H薄膜作为质量传

关 键 词:掺胺碳膜  微结构  质量传感
文章编号:1000-2472(2000)04-0026-05

Preparation of a-C ' H Films Containing Amino-Group and Its Sensitive Properties for Formic Acid Vapors
YAN Yong-hong,ZENG Jian-ping,YIN Xi,HUANG Jing-liang,GONG Lei,CHEN Zong-zhang.Preparation of a-C '' H Films Containing Amino-Group and Its Sensitive Properties for Formic Acid Vapors[J].Journal of Hunan University(Naturnal Science),2000,27(4):26-30.
Authors:YAN Yong-hong  ZENG Jian-ping  YIN Xi  HUANG Jing-liang  GONG Lei  CHEN Zong-zhang
Institution:YAN Yong-hong ,ZENG Jian-ping ( Dept of Applied Physics,Hunan Univ,Changsha 410082,China)YIN Xia ( College of Chemistry and Chemical Engineering,Hunan Univ,Changsha 410082,China;)HUANG Jing-liang ,GONG Lei (Dept of Applied Physics,Hunan Univ,Changsha 410082,China)CHEN Zong-zhang ( College of Chemistry and Chemical Engineering,Hunan Univ,Changsha 410082,China)
Abstract:
Keywords:carbon films  microstrueture  mass sensitivity
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