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| 低频大功率晶体管芯片的电子束退火研究 | |
| 引用本文： | 万积庆,曾云,廖晓华.低频大功率晶体管芯片的电子束退火研究[J].湖南大学学报(自然科学版),1985,12(2). |
| 作者姓名： | 万积庆 曾云 廖晓华 |
| 作者单位： | 湖南大学基础科学系 (万积庆，曾云)，衡阳晶体管厂(廖晓华) |
| 摘 要： | 本文研究了电子束退火对低频大功率晶体管芯片的影响,结果证明,经电子束退火,芯片的机械抛光损伤、热氧化层错和位错都有显著减少.本文还研究了低频大功率晶体管的"云雾击穿".讨论了电子束退火对"云雾击穿"的影响. |
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