| Sn元素在磁控溅射Al-Fe-Sn合金薄膜结构变化中的作用 |
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| 引用本文： | 赵冠楠,侯振国,谢玉叶,郑增,严彪.Sn元素在磁控溅射Al-Fe-Sn合金薄膜结构变化中的作用[J].上海理工大学学报,2016,37(3):84-89. |
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| 作者姓名： | 赵冠楠 侯振国 谢玉叶 郑增 严彪 |
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| 作者单位： | 同济大学 材料科学与工程学院, 上海 200000;同济大学 材料科学与工程学院, 上海 200000;同济大学 材料科学与工程学院, 上海 200000;同济大学 材料科学与工程学院, 上海 200000;同济大学 材料科学与工程学院, 上海 200000 |
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| 摘 要： | 利用磁控溅射法制备了Al-Fe-Sn合金薄膜，并综合利用透射电子显微镜（TEM）、X射线衍射仪（XRD）和光电子能谱仪（XPS）等测试手段，获得了溅射态及550 ℃退火态Al-Fe-Sn合金薄膜的结构及成分信息，并在此基础上，对Sn元素在所制备出的Al-Fe合金薄膜中相变的作用提出了相关模型.在所采用的溅射工艺下，得到Sn在α-Al中的固溶体.在退火过程中，Sn首先会从Al基体中脱溶出来，在表面优先富集.当退火温度进一步升高至550 ℃时，在晶界处残余的Sn会重新固溶进入Al基体中，通过与Al原子结合对Al-Fe相的生成起到阻碍作用，并且使得扩散进入薄膜的Si与Fe结合，进而形成ε-FeSi相.
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| 关 键 词： | 磁控溅射法 铝合金 相变 Al-Fe合金薄膜 |
| 收稿时间： | 3/1/2016 12:00:00 AM |
Role of Tin in the Structural Evolution of Al-Fe-Sn Alloy Thin Film |
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| ZHAO Guannan,HOU Zhenguo,XIE Yuye,ZHENG Zeng and YAN Biao.Role of Tin in the Structural Evolution of Al-Fe-Sn Alloy Thin Film[J].Journal of University of Shanghai For Science and Technology,2016,37(3):84-89. |
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| Authors: | ZHAO Guannan HOU Zhenguo XIE Yuye ZHENG Zeng and YAN Biao |
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| Institution: | School of Material Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200000, China;School of Material Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200000, China;School of Material Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200000, China;School of Material Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200000, China;School of Material Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200000, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering process aluminum alloy phase transition Al-Fe alloy thin film |
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